
FBB控制軟件使用的程序語言是Labview,可以允許客戶做少量的自我編輯。我們的程序基本上分成四大界面,第一個(gè)是整體的規(guī)劃,第二個(gè)是系統(tǒng)狀態(tài),第三個(gè)是系統(tǒng)記錄,最后一個(gè)是自動(dòng)程序。所以用戶可以很容易地直覺式的編程,比如說第一步把樣品加熱到1000攝氏度,第二步設(shè)定濺射功率,將磁控濺射腔清靶,第三步等待五分鐘,第四步將樣品擋板打開,第五步鍍膜中,第六步將擋板關(guān)起來,完成整個(gè)程序。非常地人性化設(shè)計(jì)。
FBBear(Formosa Black Bear)實(shí)現(xiàn)了全部自動(dòng)化、工藝過程控制和監(jiān)測、以及參數(shù)調(diào)整和監(jiān)測。它還提供數(shù)據(jù)記錄、處理和分析。
FBBear系統(tǒng)控制軟件是一個(gè)多功能軟件,用于控制整個(gè)超高真空系統(tǒng),如:
1、掩??刂?/p>
2、束源爐/電子束/離子束/等離子體/磁控管控制
3、連接溫控器,控制激光加熱器的觸發(fā)、功率等
3、壓力(上游/下游)控制
4、樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速控制
5、靶材旋轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)控制
6、工藝過程控制等
FBBear可以控制EUROTHERM2408來調(diào)諧和保存用于激光/燈絲加熱器的多個(gè)PID參數(shù),以達(dá)到不同襯底溫度要求的最佳精度。
FBBear 沉積程序可以輕松設(shè)置、定制和保存實(shí)驗(yàn)配方,并使沉積過程完全自動(dòng)化。可以輕易地重復(fù)具有相同實(shí)驗(yàn)參數(shù)的沉積過程。此外,它還可以管理ID記錄和數(shù)據(jù)日志等,以審查過去的沉積參數(shù)。
我們可提供RHEED的附帶程序,客戶無論是否購買我們的高能電子搶,均可以直接使用這個(gè)軟件,不用再購買其他專業(yè)的RHEED分析軟件,可以節(jié)省客戶預(yù)算。 FBBear RHEED監(jiān)控軟件提供對(duì)生長過程的實(shí)時(shí)監(jiān)測和分析:
a)單個(gè)原子層生長的計(jì)數(shù)。
b)確定生長機(jī)制(如:外延生長、階梯流生長或三維島狀生長)。
FBBear軟件可以進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析。