
我們公司的MBE-8可以成長(zhǎng)三寸以下的樣品,樣品溫度可以加到900攝氏度,如果是兩寸以下的樣品可以到1100攝氏度。可以裝置8個(gè)束源爐,最大容量40cc。配備晶振、束流監(jiān)控器、高能電子槍以及監(jiān)控軟件??梢匝b置固體源、氣體源/ ALD閥、等離子增強(qiáng)型束源爐(plasma cell)及我們特制的電子回旋共振束源爐(ECR plasma cell)??裳b電子槍E-beam。
我們的腔體是用SUS316不銹鋼制作,真空可到2×10-10torr,使用泵有浦發(fā)700分子泵與冷泵。內(nèi)部有全罩式液態(tài)氮冷罩,可提供非常大的抽氣效率。我們的設(shè)備在長(zhǎng)二維材料以及拓?fù)洳牧稀⒀趸锓矫娑加胁诲e(cuò)的性能。如:III-V 族, II-VI 族, Si/SiGe ,金屬與金屬氧化物(因?yàn)槲覀冇歇?dú)步全球的激光加熱器,可到2英寸),以及GaN, AlN, AlGaN, InGaN, AlGaInN,CIGS,OLED 等。