設(shè)備名稱(chēng)：雙腔體約瑟夫森結(jié)制備專(zhuān)用機(jī) JEB-2
JEB-2可以簡(jiǎn)單的利用兩個(gè)腔體，實(shí)現(xiàn)鍍膜與氧化的功能。樣品座可以實(shí)現(xiàn)傾斜與旋轉(zhuǎn)的功能。離子洗裝在進(jìn)樣室的下方，氧化可以有動(dòng)態(tài)氧化與靜態(tài)氧化兩種方式，客戶可選擇全手動(dòng)或者是全自動(dòng)電腦控制。
樣品加載速度快三十分鐘就可以開(kāi)始鍍膜, 全自動(dòng)鍍膜只需要放入載片按下“開(kāi)始”就可以交給系統(tǒng)自動(dòng)完成工作。
樣品可以旋轉(zhuǎn)以及做雙傾角75度的調(diào)整工作以符合各種工作的可能性。
JEB系列搭配進(jìn)樣室做離子清洗加熱除水氣的功能。
技術(shù)參數(shù)：
Vacuum Chamber: 316不銹鋼圓柱形腔體，最低outgas的不銹鋼材料；
Pumping: 分子泵或冷凝泵；
Load Lock: 全自動(dòng)傳樣片,適合各種形狀尺寸的小破片到100mm大的圓片，高真空背景傳遞；
Process Control: PC Labview自動(dòng)控制界面，菜單控制，數(shù)據(jù)獲取和遠(yuǎn)程控制 ；
In-Situ Monitoring & Control: QCM膜厚監(jiān)控；
RGA殘余氣體分析；
Substrate Fixture: 單片，多片，行星式襯底夾具；
Substrate Holders: 可加熱，冷卻，旋轉(zhuǎn)；傾角；
Ion Source: 襯底預(yù)清洗，納米表面改性。
Deposition Techniques:
Electron Beam Evaporation，電子束蒸發(fā)；
Tilt Angle Depostion ,傾斜角沉積