Adnano-tek JEB Diamond-10設(shè)備功能性敘述如下：
可以多腔體協(xié)同多工同時工作
離子洗 IBE or Cleaning
電子束蒸發(fā) E beam evaporator
磁控 UHV Sputter
加熱Heating
氧化 Oxidation
熱蒸發(fā)做銦電極的倒裝焊 In evaporator
存儲腔 storage
原子層沉積ALD
可以做全功能的搭配也可以加裝手套箱或XPS等分析設(shè)備
不管是使用線性傳輸或是RDC傳輸, 我們都很有經(jīng)驗(yàn)
Adnano-tek UFO 傳送腔設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)
從技術(shù)層面來看球面形腔體是最符合超高真空應(yīng)用的腔體設(shè)計, 因?yàn)椴还軓哪囊粋€角度來說殘余氣體都很容易被抽走, 也能裝置最多數(shù)量的零部件
但是當(dāng)我們遇到要把幾個設(shè)備子系統(tǒng)連接在一起的時候我們不會做一個兩米直徑的球形腔體因?yàn)樵靸r太高昂也太占空間真空抽速不夠的問題很難解決
Adnano-tek的UFO傳送腔內(nèi)含一支超高真空兼容的機(jī)器手臂傳送距離達(dá)到120cm, 樣品大小可以達(dá)到6英吋的晶圓, 可以做Z axis, Rotation, and extension
的移動; 樣品移動平穩(wěn)迅速可以保證樣品傳送的時候真空維持在5E-10 torr內(nèi)
而且穩(wěn)定度以及重現(xiàn)性可以達(dá)到0.5mm以內(nèi)的精確度
Adnano-tek的UFO傳送腔可以接高達(dá)八到十個子系統(tǒng) (可以裝兩部電子束蒸發(fā)磁控濺射等等, 萬一某個子系統(tǒng)故障或是維護(hù)中可以繼續(xù)使用全部功能), 可選配電子束蒸發(fā), 磁控濺射, 氧化室, 原子層沉積, 進(jìn)樣室, 離子洗
占地只要5X5米的大小, 是全世界最小的UHV deposition cluster系統(tǒng)
對于寸土寸金的潔凈室而言相當(dāng)?shù)慕?jīng)濟(jì)實(shí)惠
我們在IBE的腔體前方安置一個非常緊湊的單片進(jìn)樣室, 進(jìn)樣時間為五分鐘
也就是說從放樣品到可以進(jìn)到IBE的腔體做梨子洗只需要五分鐘; 另外我們外加了一個可以裝載10片樣品或是MASK的(大型進(jìn)樣室/存儲室)可以預(yù)先放置十片樣品全自動一片一片做完后放回存儲室或者單片進(jìn)樣室做出樣品
非常的自動且有效率
樣品加熱---鎧柏的強(qiáng)項
不管是10X10mm小襯底已經(jīng)有數(shù)十臺安裝實(shí)績的成績或是具有專利的大尺寸激光加熱
不管最高溫到1200攝氏度或是有氧氣, 臭氧, 氧原子離子的環(huán)境(UHV 到十個大氣壓的壓力), Adnano-tek 都做過而且?guī)椭茖W(xué)家們完成最新穎的課題; 出過最頂尖的期刊
在JEB系統(tǒng)上我們具有專利的大尺寸激光加熱可以大幅減少腔體過熱導(dǎo)致雜質(zhì)回到樣品表面, 可以快速升溫或是有序的緩慢降溫 (超快降溫亦可, 樣品會破)
紅外測溫直接量測樣品且反饋表面溫度非常精確而且穩(wěn)定
再加上可以控制各式氣體導(dǎo)入倒出; 可以精確環(huán)境控制
非常高效的節(jié)省電費(fèi)長期下來對整個實(shí)驗(yàn)室的支出會大幅降低
全自動傳輸在節(jié)省人力上也是很驚人的支出會大幅下降
在售后服務(wù)方面, Adnano-tek的總部在臺灣具有地域上的優(yōu)勢售后快速又能講相同的語言溝通沒有障礙, 在南京有分公司辦事處, 碩士技術(shù)人員有兩位可以隨時支援. Adnano-tek鎧柏科技在大陸加上臺灣已有接近百臺的實(shí)績, 用戶反饋良好
綜上所述, Adnano-tek的技術(shù),性能, 產(chǎn)品占有率, 售后相較于其他進(jìn)口設(shè)備商具有相當(dāng)大的優(yōu)勢, 再加上能搭配在大陸占有率第一的線性傳輸系統(tǒng)最能符合及滿足高性能的要求