Super系列是由Sputter, PLD, E-beam evaporator三種系統(tǒng)共通的平臺(tái); 在某些情況可以交互更換功能。
EBS-super是臺(tái)灣鎧柏最新的推出的電子束蒸發(fā)設(shè)備, 適用于大多數(shù)客戶的應(yīng)用尤其適合SiO2或是 Al2O3等絕緣體材料, Super的腔體小， 樣品加載速度快十分鐘就可以開始鍍膜, 全自動(dòng)鍍膜只需要放入載片按下“開始”就可以交給系統(tǒng)自動(dòng)完成工作。樣品可以旋轉(zhuǎn)以及升降十公分的調(diào)整工作距離以符合各種工作的可能性。
技術(shù)參數(shù)：
Vacuum Chamber: 316不銹鋼圓柱形腔體，最低outgas的不銹鋼材料；
Pumping: PfeifferHipace 700分子泵；
Load Lock: 手動(dòng)或自動(dòng)傳樣片,適合各種形狀尺寸的小破片到100mm大的圓片，高真空背景傳遞；
Process Control: PC Labview自動(dòng)控制界面，菜單控制，數(shù)據(jù)獲取和遠(yuǎn)程控制 ；
In-Situ Monitoring & Control: QCM膜厚監(jiān)控；
Substrate Fixture: 單片襯底夾具。