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利用磁控濺射進行標準物理氣相沉積(PVD)作業(yè)在玻璃(or 其他材料)上進行鍍膜工藝1. 多腔連續(xù)水平式生產2. 尺寸2.5~5代線 (370x470mm~1100x1250mm)3. 純金屬濺鍍、反應式濺鍍、混合式濺鍍、表面清潔,改質 等多種制程搭配4. 全自動化系統(tǒng)5. 簡易操作人機界面 應用范例：膜層和膜系: AZO, Cu, Ga, ITO, Mo, Al,In,Ag...